Главная - Литература

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 [44] 45

кие весы дпя измерения малых нагрузок Приборы и техника эксперимента. 1984.hP2.C. 216-217.

93. Рябов ПМ., Малов ВЛ. Пьезорезонансные весы дпя исследования аэродинамических характеристик моделей сложили формы Тезисы докладов VIII Всесоюзной конференции по динамике разреженных газов. М.: 1985. Т. 2. С. 150.

94. Пат. 3617780 (США). Piezoelectric transducer and method for mounting same. Benjaminson A, Hammond D.L.

95. Kanei H., Leach J. A.quartz resonator pressure transducer IEEE Trans. Ind. Electron and Control Instrum. 1969. Vol. 16, N 1. P. 44-50.

96. E.P. Eer-Nisse. Rotated JT-cut quartz resonators for high temperature applications Proc. 32 AFCS. 1978. P. 259-269.

97. Пат. 2496884 (Франция). Sonde de mesure de pression. Guimard A., Lemar-chand J.

98. Paros T.M. Precision digital pressure transducer lSA AC. 1972. P. 72-602. P. 1-8.

99. Karrer H.E., Ward R. A low-range quartz resonator pressure transducer ISA Transactions. 1977. Vol. 16, N 2. P. 90-98.

100. Малов B.B., Козловский В.Д., Макаров B.M. Частотный датчик атмосферного давления на основе кварцевых пьезорезонаторов Робототехника и автоматизация производственных процессов.1983. Ч. 3. С. 78-79.

101. Виноградов МЛ., Малов В.В.,Симонов ВЛ. Кварцевый датчик разрежения для автомобилей Методы и средства измерения механических параметров в системах контроля и управления. Пенза: ПДНТП. 1983. С. 4-5.

102. Безлюдько В.Я., Зеленский АА., Солодовинк В.Ф. Пьезоэлектрический мезаструктуриый датчик акустического давпения с частотным выходом Актуаль-ные проблемы получения и применения сегнето-и пьезоэлектрических материалов. Ч. 1. М.: НИИЭТХИМ. 1984. С. 39.

103. Пьезорезонансный датчик гидростатического давления для скважинных манометров/С. А. Арабей, В.В. Иванов, В.В. Малов и др. Актуальные проблемы получения и применения и пьезоматериапов: М.: МДНТП. 1981. С. 39.

104. A.C. 775640 (СССР). Устройство для измерения разности давлений/Т.Б. Ибрагимов, Л.В. Малейко, В.В. Малов и др. Открытия. Изобретения. 1980. № 40.

105. Пьезорезонансные датчики давления/Л.В. Малейко, В.В, Малов, А.П, Руден-ков и др. Приборы и системы управления. 1984. № 9. С. 19-21.

106. А.С, 274517 (СССР). Акселерометр/Е.Е. Гвентер, Н.И. Красильников, Б.В. Карманов, И.К, Лихович Открьггия. Изобретения. 1970. № 21.

107. А.С. № 296037 (СССР). Дифференциальный пьезоакселерометр с частотным выходом Открьггия. Изобретения. 1971. № 8.

108. Волков МЛ., Малов ВЛ. Применение кварцевых датчиков линейных уско-рений Тези<а>1 доклада на II Всесоюзной конференции "Актуальные проблемы получения и применения сегието- и пьезоэлектриков". М.: МДНТП, 1984.

109. А.С 794546 (СССР). Пьезоакселерометр с частотным выходом/В. В. Малов, В.Д. Козловский, В.Н. Симонов Открытия. Изобретения. 1981. P 1.

ПО. Пат. 3386292 (США). Digitalaccelerometer.RА. Watson.

111. Пат. 4091679 (США) . Vibrating Quartz Accelerometer. Kaoru Furusawa, Du-miguki Ishigami.

112. Watson R. Digital Accelerometer build around crystal Space aeronautics 1967. Vol. 47, N6.

113. Accelerometer operated by Quartz crystals Control Engineering. 1969. Vol. 16, N 1. P. 79.

114. Вильщук ВЛ., Фроловский СЛ. Пьезорезонансные датчики с переменным зазором Пьезо-и акустоэлектронные устройства. Омск. 1981. С, 102-105.

115. Малов ВЛ., Симонов ВН., Ключко АЛ. Датчикидавлениянаоснове кварцевого генератора, управляемого емкостным чувствительным элемеитом Радио-техника. 1986. № 11, С. 44-47,

116. А.С. 464в12 (СССР). Способ контроля физических характеристик пленочных материалов/В.В. Малов, Ю.П. Якунин, В.Н. Симонов Открытия. Изобретения. 1975. №11.

117. Waage reaqiert auf NanogranunZ/Fonkschau. 1984. N 26, P. 20.

118. Quartz crystals as mechanical sensorsZ/Electronic Product Design. Vol. 5« N 5, P, 28.

119. Николаев B.T., Черняев ВЛ. Чувствительность линзового резонатора среза AT дпя осажденвя тонких пленок Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. 1973. Вып. 7. С. 88-93.

120. Орлов ЮТ. Эквивалентные параметры пьезорезонатора, нагруженного пленкой Автоматизация управления технологическими процессами. М.:.АтомиЗ-дат, 1979. Вып. З.С. 71-76.

121. Орлов Ю.Г., Малов ВЛ. Нелинейная теория пьезокварцевого микровзвеши-вания Автоматизация управпения технологическими процессами. М.: Атомиздат. 1978. Вып. 3, С. 55-76,

122. Скмоиов В Л., Малов В.В., Якунин ЮЛ. Вопросы оптимизации рабочих характеристик кварцевых микровесов Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоиенты. 1976. Вып. 1.

123. Иващеико В.Е. Сорбционно-частотные датчики приборов контроля микро-и макроконцентраций влаги в газах. Автореф. дис. ... канд. техн. наук. Ангарск, 1984.

124. Пьезосорбционные гигрометры/В,Е. Иващеико, Л.З. Савкун, А.Н. Дрянов, И,А, Рудых Измерительная техника. 1982. № 10. С 37-42,

125. Индикаторы влажности газов ИВА-1 и ИВА-2/А.И. Бутурлин, Ю.И, Гладков, СГ, Орлов, Ю.Д. Чисгяков Электронная промышленность, 1982, Вып. 8(114). С 62.

126. Индикатор микровлажности и концентрации кислорода в водороде ОКА-1/ А,И. Бутурлин, А,Я, Дикевич, СА, Крутоверцев, Е.Н, Овчинников Электронная промышленность, 1982, Вып. 8 (114), С. 63.

127. Sauerbiey G. Verwendung von Schwingquarzen zur Wagung dunner Schichten und zur Mikiowagung/ZZatschrift fur Physik. 1959. Bd. 155. P. 205-222.

128. Ballato A., Lukasek T. Mass loading of thickness-excited crystal resonators having arbitrary piezo-coupling IEEE Trans. 1974. Vol. SU-21, N 4. P. 269-275.

129. Kertzman T. Piezoelectric Sensors for use as pollution detectors, meteorology monitors and research instruments Proc, AFCS 25, 1971. P, 1-2-103,

130. King W.H. The State-of-the-Art in Piezoelectric Sensors Proc. AFCS 25, 1971. P, 55-73.

131. Kmg WЛ., Jr. Using quartz crystak as sorption detectors Res, Develop. 1969. Vol. 20, N 2. P. 28-34, N 5. P. 29-33.

132. Hlavay J., Guilbault G. Applications of the piezoelectric crystal detector in analytical chemistry AnaHt. Chem. 1977. Vol. 49. P, 1890-1898,

133. Hlavay J., Guilbault G.C Detectton Of ammonia in ambient, air with coated piezoelecuic crystal detector Anal. C3iem; 1978. Vol, 50, N 8. P. 1044-1046.

134. Konash P.L., Bastians G.J. Crystals as detectors in liquid chromatography Anal. Chem. 1980, N52. P, 1929-1931.

135. Edmonds Т.Е., West TjS. A quartz crystal piezoelectric device for monitpring organic gaseous pollutants Anal. Chem, Acta, 1980. N17. P, 147-157,

136. Ktndlund A., Sundgren H., Lundstrom I. Quartz crystal gas monitor with a gas concentrating stage Senюrs and actuators, 1984, N 6. P. 1 -17,

137. Ho M.N., Guilbault G.G. Continuous detection of toluene in ambient air with a coated piezoelectric crystal Anal, Chem. 1980. Vol. 52. P, 1489-1492,

138. йзработка и исследования пьезокварцевых датчиков для определения концентрации паров спиртов и ароматических углеводородов в-газах/В.М. Баженов, Т,С. Воронова, И.А. Рудых и др. Автоматизация химических производств. М.: НИИТЭХИМ, 1983. Вып. 1. С. 37-41.



139. А.С. 1176233 (СССР).Устройство для определения скорости травления/ Л.А. Зубков, В.В. Малов, В.Н. Симонов, В.Е. Прядько. 1985. № 32.

140. В.М. Чутко. Контроль процессов ионного распьшения методом кварцевого резонатора/Оптико-Механическая промышленность Открытия. Изобретения. 1983. №11.

141. Пьезокварцевое микровзвешивание сухого остатка жидкости/В.З. Красильщик, М.С. Чупахин, Ю.А. Гриднев и др. Журнал аналитической химии, 1978. Т. 33. Вып. I.e. 5-12.

142. Гутмаи Э.Е., Кашин А£., Мясников И.А. Применение метода пьезоквар-цевого микровзвешивания для изучения адсорбции на метастабильной поверхности твердого тела Актуальные проблемы получения и применения сегнето-и пьезоэлектрических материалов. М.: НИИТЭХИМ. 1984. Ч. 1.С. 2.

143. Carpenter L.G., Watts MJ. Plasma etch and deposition monitoring quartz crys-tal Vacuum, 1982. Vol. 32, N 5. P. 305-308.

144. Jones J. A piezoelectric transducer for determination of Metals at the Micro-molar Level Analytical Chemistry. 1969. Vol. 41, N 3. P. 484-490.

145. Трофимои А.И. Пьезоэлектрические измерительные преобразователи в атомной технике. М.: Энергоатомиздат, 1983.

146. Шляхтер Л.М., Шии В. Новый прецизионный метод измерения размеров и микроперемещений Измеритепьная техника. 1968. № 2. С. 25-27.

147. Beukema C.J., Melema J. Measuring system for complex shear modulus of U-quids using torsionaUy vibrating quartz crystals J. Sci. Instrum. 1981. Vol. 14. P. 418-420.

148. Acoustically Coupled Resonators and Pressure Transducer/J. Detaint e.a Proc. 37 AFCS. 1983. P. 239-247.

149. Langdon R.M. Vibratory process control transducers The Marconi review. 1980. Vol. 43. N218. P. 156-175.

150. Kasahara Y., Tokushima A., Ise Y. Frost sensor National Technical Report, June 1978. Vol. 24, N 3. P. 512-518.

151. Roberts E.A., Goldsmith P. Piezoelectric crystal as sensing elements of pressure, temperature and humidity Electrical Engineering. 1951. N 9. P. 776-781.

152. Информация компании Watson Industries/Lasser Report. 1981. Vol 17 N8. P. 2.

153. Информация компании Collins Avionics Electronics Australia. 1985 Vol 47 N2. P. 6-7.

154. A.C. 265963 (СССР). Пьезоэлектрический датчик угловой скорости/ В.Н.Опалев, Н.И. Кушко Открьггия. Изобретения. 1970. №11.

155. Stress induced effects on the propagation of surface Waves/B.K. Sinha W.J. Tan-ski e.a. Proc. 37 AFCS. 1983. P. 415-422.

156. Frequency/Stress Sensitivity of SAW Resonators Elect. Lett./J.F. Dias, H.E. Kar-rer, J.A. Kusters, C.A. Adams. 1986. 12(22). P. 580-582.

157. Асмоловский Ю.А. Тензозависимость скорости ПАВ в одноповоротных У-срезах Пьезо- и акустоэлектронные устройства. Омск: ОмПИ, 1981. С. 50-54.

158. Сфомолотнов И.Е. Анализ тензочувствительности акустоэлектронных усгройств Пьезотехника и акустоэлектроника. Омск: ОмПИ, 1983. С. 144-149.

159. Колешко В.М. Мешков ЮЛ., Малов В.В. Микроэлектронные датчики давления на поверхностных акустических волнах Материалы конференции "Датчики на основе технологии микроэлектроники". М.: 1986. С. 88-91.

160. Макаров В.М., Малов В.В., Карпеев Д.В. Частотные датчики механических величин на ПАВч;труктурах Сегнето- и пьезоматериалы и их применение. Материалы семинара МДНТП. М.: 1978. С. 59-62.

161. Дворников А.А., Огурцов В.И., Уткин Г.М. Стабильные генераторы с фильтрами на поверхностных волнах. М.: Радио и связь. 1983.

162. Temperature stable SAW devices using doubly rotated cuts of quartz/Williams DP. e.a. Proc. Ultrasonics Symp. 1980. P. 429-433.

163. Hauden D., Michel M., Gagnepain J.J. Higher order temperature coefficients of quartz SAW oscillators Proceedings of the 32-nd AFCS, U.S. Army Electronics Research and Development Command. 1978. P. 77-86.

164. OConndl R.M. A new cut of Quartz with orthogonal temperature-compensated propagation directions for surface acoustic wave applications Proc. 33 AFCS, USA. 1979. P. 402-405.

165.Shimizu Y., Yamamoto Y. SAW propagation characteristics of complete cut of quartz and new cuts with zero temperature coefficient of delay Proc. Ultrasonics Symposium. 1980. P. 420-423.

166. Temperature Sensor Using SAW delay line/Hauden D. e.a. IEEE Ultrasonics Sumposium. 1981. P. 148-151.

167. High Q. Temperature stable ZnO-on-silicon SAW resonators/S.T. Martin e.a.

Ultrasonics symposium. 1980. P. 113-117.

168. Rokhlin S.L, Komblit, Gorodetsky J. SAW pressure transducers and accelero-meters Prog. Aerospace Sci. 1984. Vol. 27. P. 1-131.

169. White R.M. Swface acoustic wave and Lamb Wave Sensors Proc. Internat. Symposium Surface Waves in Solids and Layered Structures. Novosibirsk. USSR, July 1-4, 1968. P. 342-356.

170. Welrauch D.F., Schwartz RJ. SAW resonator fiit-bonded pressure transducer IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings. New Orleans. 1979. P. 874-877.

171. Un capteur de pression a ondes elastiques de surface compatible microinfor-matique Inter Electronique 29 Janier 1979.

172. Пат. 4216401 (США). SAW presswe sensor structwe. R.A. Wagner.

173. Cullen D.E. ел. Progress in the development of SAW resonator pressure trans-ducers Ultrasonics Symposium. 1980. P. 696-701.

174. Dias J.F. Physical sensors using SAW devices Electromcs and tastrumentation. 1982. October. P. 53-54.

175. Pressure and acceleration sensitivity of SAW interferometer/E.J. Staples e.a. IEEE Ultrasonics Symposium. l98l. P. 155-158.

176. Risch M.R. Precision presswe sensor using quarts SAW resonators Sensors and actuators. 1984. Vol. 6, N 2. P. 127-135.

177. Das P., Lanz L.C., Tiersten Hf. A Pressure sensing acoustic surface wave reso-nator l976 Ultrasonics Symposium Proceedings. IEEE. P. 306-308.

178. Surface acoustic wave underwater sound sensors/E.J. Staples, J. Wise, J.S. Scho-enwald, T.C. Lim 1979 Ultrasonics Symposium. P. 870-873.

179. Das P., Lanz L.C., Вагоне D. A surface acoustic wave transmitting hydrophone 1978 Ultrasonics Symposium Proceedings. P. 458-463.

180. Das P., Lanz L.C. A self-transmitting surface Acoustic wave pressure transducer Journal of Bioengineering. 1978. Vol. 2. P. 27-32.

181. A.c. 741060 (СССР). Датчик механических величин/В.В. Малов, В.М. Макаров, О.А. Кучко, Д.В. Карпеев Открьггия. Изобретения. 1980. № 22.

182. А.С. 757885 ((ХСР). Манометрический злемент/В.В. Малов, В.М. Макаров, П.А. Филимонов и др. Открытия. Изобретения. 1980. № 31.

183. А.С. 1164565 (СССР). Датчик давления/И.Е. Сыромолотнов Открытия. Изобретения. 1985. № 24.

184. А.С. 1161881 ((ХСР). Акселерометр с преобразователем поверхностно-акустических волн/И.Е. Сырмолотнов Открьггия, Изобретения. 1985. №22.

185. Tiersten H.F., Stevens PJS., Das PJC. Accoustic swface wave accelerometer and rotation rate sensor Ultrasonics Symposium. 1980. P.727-738.

186. Tiersten Hf. Circulating flexural wave rotation rate sensor IEEE Ultrasonics Symposium. 1981. P. 163-166.

187. Meunier P.-L., Hartemann P. Cantilever - beamed SAW Accelerometers l982, Ultrasonics Symposium Proc. P. 299-302.

188. Пат. 2143326 (Великобритания) SAW accelerometer, D.F. Dwyer, D.E. Bowler.



189. Ал. 741049 (СССР). СМоооб измерения перемещений объекта/В.В. Малов, В.М. Макаров, В.М. Плужников, О.А. Кучко С)ткрытия. Изобретения. 1980. P 22.

190. Рапгльскис КМ., Снитко В.Ю., Мизарене ВЛ. Виброизмерительные преобразователи на поверхностных акустических волнах Виброметрия. М.: МДНТИ. 1982. С. 75-77.

191. Мизарене В.И., Рагульскис КМ., Снитко В.Ю. Измерение угаовых перемещений поверхностными акустическими волнами . Робототехника и автоматизация производственных процессов. Барнаул. 1983. Ч. 4. С. 103-105.

192. Snitko v., Zabbarov А., Ragulskis К. Application of surface acoustic waves for measuring linear and angular displacement Acta Imeko. 1982.

193. WoMen H., Dessy R. ASW probe for chemical analysis introduction and instrumentation descriptions Anal. Chem. 1979. Vol. 51. P. 1458-1464.

194. DAmico A-, Palma A., Verona E. Palladium-surface acoustic wave interaction for hydrogen detection Appl. Phys. Lett. 1982. VoL 41, N 3. P. 300-301.

195. MuUer R.S., Fertsdi M.T., White RM. Surface - Acoustic - Wave Vapor -Sensing Device IEEE Transactions of Electron Devices. 1980. Vol. ED-27, N 11. P. 2200-2201.

196.Chuang C.T., White RJH. Sensors Utilizing thin membrane SAW oscillators IEEE Ultrasonics Proceedings. 1981. P. 159-162.

197. Bryant A., Lee D.L., Vetelino F. A Surface Acoustic Wave Gas Detector IEEE Ultrasonics Symposium. 1982. P. 171-174.

198. Amico D., Palme A., Verona E. Surface acoustic wave hydrogen sensor Sensors and actuators. 1982. Vol. 3. P. 31-39.

199. Малое ВЛ., Орлов Ю.Т. Микровзвепшвание на П>\В-структурах Измери-твльные преобразователи/Под ред. В.Я. Ложникова, Омск. 1979. С. 106-111.

200. Орлов Ю.Г., Малов В.В. О применениях поверхностных акустических волн в задачах микровзвещивания. Измерительные преобразователи/Под ред. В.Я. Ложникова. Омск. 1979, С. 112-119.

201. Орлов ЮХ., Малюв ВЛ., Макаров В.М. Скачки частоты при настройке ПАВ-генераторов. Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. 1982. Вып. 2. С. 65-66.

202. Acoustodectric mobility measurement on films with negligible acoustic loss/ R. Adler ел. 1980 Ultrasonics Symposium. 1980. IEEE. P. 139-141.

203. JoAi G. Surface Acoustic Wave (SAW) voltage sensor with improved sensitivd-ty IEEE. 1984. Vol. 72, N 10. P. 1418-1419.

204. Lao B.Y. Gyroscopic effect iu surface acoustic waves 1980. Ultrasonics Symposium. P. 687-691.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие /..................................... 3

Введете . . . . J...................................... 5

Гпаеа 1. Принципы построения пьезорезоиаисньк датчиков ........... 7

1.1. Эквивалентная схема пьезоэлектрического резонатора ......... 7

1.2. Общая характеристика методов управления пьезорезонансными преобразователями. Классификация пьезорезонансных датчиков 12

1.3. Упругие, пьезоэлектрические и диэлектрические свойства пьезоэлектрических материалов........................... 19

1.4. Общая характеристика пьезорезонаторов ОАВ, используемых в ПРД 22 Глава 2. Физические свойства управляемых пьезоэлектрических резоиаторю 35

2.1. Термочувсгвительность кварцевых резонаторов............•..... 35

2.2. Тензочувствительность кварцевых пьезорезонаторов........... 48

2.3. Физические основы масс-чувствительности пьезорезонаторов ..... 67

2.4. Акусточувствительность пьезорезонаторов................. 76

- 2.5. №зические основы гирочувствительности пьезопреобразователей 79

2.6. Влияние факторов окружающей среды на пьезоэлектрические резонаторы ....................................... 81

Глава 3. Электронные схемы пьезорезонансных датчиков............. 83

3.1. Схемы включения пьезорезонаторов в измерительных преобразователях ........................................ 83

3.2. Основы работы автогенераторов с пьезоэлектрической стабилизацией ......................................... 84

3.3. Автогенераторные схемы пьезорезонансных датчиков.......... 89

3.4. Принципы построения измерительной аппаратуры на базе пьезорезонансных датчиков ................................ 95

Глава 4. Применение термочувствительных пьезорезонаторов в измеритель,

ной технике......................................... 102

4.1. Кварцевые термометры............................. 102

4.2. Цифровые приборы на основе кварцевых термодатчиков........ ИЗ

4.3. Подогревные термочувствительные пьезорезонаторы .......... 120

4.4. Электротепловой ваттметр........................... 121

4.5. Пьезорезонансный вакуумметр........................ 124

4.6. Некоторые применения подогревных пьезорезонаторов......... 125

Глава 5. Пьезорезонансные датчики на основе тензочувствительных резонаторов ............................................. 127

5.1. Общая характеристика пьезорезонансных тензопреобразователей 127

5.2. Пьезорезонансные преобразователи усилий................. 133

5.3. Пьезорезонансные датчики давления..................... 147

5.4. Пьезорезонансные акселерометры ...................... 167

5.5. Примеры построения пьезорезонансных измерительных преобразователей ....................................... 178

Глава 6. Практические применении метода кварцевого микровзвешиваиия 183

6.1. Общая характеристика метода......................... 183

6.2. Кварцевые толщиномеры............................ 185



0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 [44] 45



0.0013